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壓力變送器的發(fā)展趨勢分析

日期:2025-07-20 11:28
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摘要:
壓力變送器的發(fā)展趨勢分析

     現代壓力傳感器以半導體傳感器的發(fā)明為標志,而半導體傳感器的發(fā)展可以分為四個(gè)階段: 發(fā)明階段半導體材料的這一特性得到較廣泛應用,技術(shù)發(fā)展階段隨著(zhù)硅擴散技術(shù)的發(fā)展,這種形式的硅杯壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),實(shí)現了金屬- 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。

     壓力變送器已成為各類(lèi)傳感器中技術(shù)*成熟、性能*穩定、性?xún)r(jià)比*高的一類(lèi)傳感器,因此對于從事現代測量與自動(dòng)控制專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟識國內外壓力傳感器的研究現狀和發(fā)展趨勢,在各類(lèi)傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。除此以外,還廣泛應用于水利、地質(zhì)、氣象、化工、醫療衛生等方面。

  傳感器技術(shù)是現代測量和自動(dòng)化系統的重要技術(shù)之一,從宇宙開(kāi)發(fā)到海底探秘,從生產(chǎn)的過(guò)程控制到現代文明生活,幾乎每一項技術(shù)都離不開(kāi)傳感器,因此, 許多國家對傳感器技術(shù)的發(fā)展十分重視,如日本把傳感器技術(shù)列為六大核心技術(shù)(計算機、通信、激光、半導體、超導體和傳感器) 之一。   

  商業(yè)化集成加工階段在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主,發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù),主要有V 形槽法、濃硼自動(dòng)中止法、陽(yáng)極氧化法自動(dòng)中止法和微機控制自動(dòng)中止法。

  由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕,數千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),壓力傳感器實(shí)現了集成化的工廠(chǎng)加工模式,成本進(jìn)一步降低,微機械加工階段上世紀末出現的納米技術(shù),使得微機械加工工藝成為可能,通過(guò)微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力傳感器,其線(xiàn)度可以控制在微米級范圍內,利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段。

     一、壓力變送器產(chǎn)業(yè)化發(fā)展模式:要加速形成從傳感器研究開(kāi)發(fā)到大生產(chǎn)一條龍的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展模式,走自主**和國際合作相結合的跨越式發(fā)展道路,使我國成為世界傳感器的生產(chǎn)大國。

  二、傳感器產(chǎn)品結構向**、協(xié)調、持續發(fā)展。產(chǎn)品品種要向高技術(shù)、高附加值傾斜,尤其要填補“空白”品種。

  三、企業(yè)生產(chǎn)規模(年生產(chǎn)能力)向規模經(jīng)濟或適宜規模經(jīng)濟發(fā)展,量大面廣的通用傳感器的生產(chǎn)規模將以年億只計,一些中檔傳感器的生產(chǎn)規模將以年產(chǎn)1000萬(wàn)只(含以上)計;而一些**傳感器和專(zhuān)用壓力傳感器的生產(chǎn)規模將以年產(chǎn)幾十萬(wàn)只~幾百萬(wàn)只計。

  四、生產(chǎn)格局向專(zhuān)業(yè)化發(fā)展。專(zhuān)業(yè)化生產(chǎn)的內涵為:1.生產(chǎn)傳感器門(mén)類(lèi)少而精;2.專(zhuān)門(mén)生產(chǎn)某一應用領(lǐng)域需要的某一類(lèi)傳感器系列產(chǎn)品,以獲得較高的市場(chǎng)占有率;3.各傳感器企業(yè)的專(zhuān)業(yè)化合作生產(chǎn)。

  五、傳感器大生產(chǎn)技術(shù)向自動(dòng)化發(fā)展。傳感器的門(mén)類(lèi)、品種繁多,所用的敏感材料各異,決定了傳感器制造技術(shù)的多樣性和復雜性,綜觀(guān)當前傳感器工藝線(xiàn)的概況,多數工藝已實(shí)現單機自動(dòng)化,但距離生產(chǎn)過(guò)程全自動(dòng)化尚存在諸多困難,有待今后廣泛采用CAD、CAM及先進(jìn)的自動(dòng)化裝備和工業(yè)機器人,予以突破。

  六、壓力傳感器企業(yè)的重點(diǎn)技術(shù)改造應加強從依賴(lài)引進(jìn)技術(shù)向引進(jìn)技術(shù)的消化吸收與自主**的方向轉移。

  七、企業(yè)經(jīng)營(yíng)要加快從國內市場(chǎng)為主向國內與國外兩個(gè)市場(chǎng)相結合的國際化方向跨越發(fā)展。

  八、企業(yè)結構將向“大、中、小并舉”、“集團化、專(zhuān)業(yè)化生產(chǎn)共存”的格局發(fā)展。

壓力變送器的發(fā)展趨勢分析

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